高能光催化恶臭处理设备（等离子光催化）是一种新型、具有很大发展前景的低浓度有机废气净化技术，其主要净化机理包含以下二个方面：

1、利用高能离子的强氧化性直接打开大多数有机物质的分子键，将高分子、聚合物等氧化为低分子、单体有机物质；

2、利用UV光催化剂和UV活性氧化离子的共同作用下将高能离子分解的产物进一步完全氧化为“二氧化碳”和“水”；

VOC废气首先通过等高能离子反应区，此区高压交变电作用于净化管，从而产生高能离子：“活性氧、氧离子（O-、O+）、氢氧基”，在与VOC大分子相接触后打开其的化学键，经过一系列的反应后生成小分子有机物。

小分子有机无进入UV光催化反应区，通过采用UV-D波段内的真空紫外线（波长范围160-200nm）裂解小分子有机物的化学键，使之裂解形成游离状态的原子或基团（C*、H*、O*等）；同时通过裂解混合空气中的氧气，使之形成游离的氧原子并结合生成臭氧。具有强氧化性的臭氧（O3）与小分子VOC废气被裂解生成的原子发生氧化反应，形成H2O和CO2。

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